PZT基压电陶瓷靶材制备文献综述

压电陶瓷材料因其优异的机电转换性能，在传感器、驱动器、换能器等领域有着广泛的应用。

而锆钛酸铅(PZT)基压电陶瓷作为压电材料家族中的重要成员，凭借其居里温度高、压电系数高、介电性能优异等优势，一直是压电材料研究的热点。

PZT基压电陶瓷靶材作为制备高质量PZT薄膜的关键材料，其性能直接影响着薄膜的微观结构和性能。

本文概述了PZT基压电陶瓷材料的结构、性能、制备工艺以及应用，重点综述了PZT基压电陶瓷靶材的制备方法，包括固相烧结法、化学法和气相沉积法，并详细对比分析了各种制备方法的优缺点。

最后，对PZT基压电陶瓷靶材未来的发展方向进行了展望。

关键词：PZT基压电陶瓷；靶材；制备；固相烧结；化学法；气相沉积

压电效应是指某些材料在机械压力作用下产生电荷，或在电场作用下产生机械形变的现象。

压电材料作为一种重要的功能材料，可以实现机械能和电能之间的相互转换，被广泛应用于传感器、驱动器、换能器、滤波器等领域[1]。

压电材料按照化学组成和结构可以分为压电晶体、压电陶瓷、压电聚合物和压电复合材料四大类。

其中，压电陶瓷因其具有压电系数高、机械强度高、易于制成各种形状等优点，成为应用最为广泛的一类压电材料[2]。