高灵敏度柔性电容传感器设计文献综述

柔性电容传感器作为一种新兴的传感技术，近年来在人机交互、健康监测、智能机器人等领域引起了广泛的关注。

相较于传统的刚性传感器，柔性电容传感器具有更高的灵敏度、更强的柔韧性以及更低的成本，能够更好地适应各种复杂环境和应用场景。

本综述首先介绍了柔性电容传感器的基本原理、材料选择和结构设计，并重点阐述了提高传感器灵敏度的关键技术和方法，如微纳结构设计、介电层改性等。

其次，本综述综述了柔性电容传感器在人体运动监测、健康监测、人机交互等领域的最新研究进展，并对不同应用场景下的传感器性能进行了对比分析。

最后，本综述对柔性电容传感器未来发展趋势进行了展望，并指出其在未来柔性电子、智能感知等领域具有巨大的应用潜力。

关键词：柔性电容传感器；灵敏度；微纳结构；介电层；应用

随着物联网、人工智能、柔性电子等新兴技术的快速发展，传统刚性传感器在面对日益增长的柔性化、智能化需求时逐渐显现出局限性。

柔性传感器作为一种能够感知外部环境变化的新型传感器，因其柔韧性好、重量轻、可弯曲、可折叠等优点，为解决传统刚性传感器所面临的挑战提供了新的思路，在可穿戴设备、健康监测、人机交互、软体机器人等领域展现出巨大的应用潜力[1]。

在众多柔性传感器中，柔性电容传感器由于其结构简单、灵敏度高、功耗低、线性度好、响应速度快、抗电磁干扰能力强等优点，成为近年来柔性传感器领域的研究热点之一[2]。

柔性电容传感器的基本结构包括柔性基底、电极材料和介电层，其工作原理是通过外部压力、应变、位移等物理量的变化引起电容值的变化，从而实现对外部环境的感知。